Tsarin Optical yana da yawan aikace-aikace da yawa a cikin filin semiconductor. A cikin injin hoto, tsarin gani yana da alhakin mai da hankali ga mai da hankali hasken katako kuma yana aiwatar da silicon wafer don fallasa tsarin kewaye. Sabili da haka, ƙira da haɓakar kayan aikin gani a tsarin hoto na hoto hanya ce mai mahimmanci don inganta aikin hotunan hoto. Wadannan su ne wasu daga cikin kayan aikin gani da aka yi amfani da su a cikin injunan farko:
Makoki na maƙarƙashiya
01 Babban maƙasudin tsari shine maɓalli na gani mai kyau, yawanci ya kunshi jerin tabarau ciki har da ruwan tabarau na concave, da manyan tabarau.
02 Ayyukan sa shine ya rushe tsarin kewaye a kan abin rufe fuska kuma mayar da shi a kan wafer coated tare da daukar hoto.
03 daidaito da aikin maƙarƙashiyar maƙarƙashiya suna da tasiri mai tasiri akan ƙuduri da kyakkyawan ingancin injin vithography
Madubi
01 Madubin madubiAna amfani da su don canza gefen haske kuma yana jagorantar shi zuwa madaidaicin wuri.
02 a cikin injunan EUV Lith
03 daidaitaccen daidaito da kwanciyar hankali na mai tunani kuma suna da babban tasiri a kan aikin na'urar Lithography.
Tace
Ana amfani da matattarar 01 don cire igiyar da ba'a buƙata ba, haɓaka daidaito da ingancin tsarin daukar hoto.
02 Ta zabi matattarar da ta dace, ana iya tabbatar da cewa haske ne kawai na takamaiman igiyar ruwa, ta haka inganta daidaito da kwanciyar hankali na tsarin faɗakarwa.
'Yan sanda da sauran abubuwan haɗin
Bugu da kari, injin vitographography na iya amfani da wasu kayan aikin na yau da kullun, kamar su ofis, polarizer, da sauransu, don biyan takamaiman bukatun mahalli. Zabi, ƙira da kuma ƙira da waɗannan abubuwan haɗin gani dole ne a bi ka'idodin fasaha masu dacewa da kuma buƙatun tabbatar da babban daidaitaccen na'urori da ingancin na'urori.
A taƙaice, aikace-aikacen abubuwan haɗin optical a fagen injunan Litrogogogical da ke da ikon sarrafa masana'antar masana'antar masana'antu. Tare da ci gaba da haɓaka fasahar lithiphy, ingantawa da keɓaɓɓen abubuwan haɗin zai kuma samar da mafi yawan samfuran kwakwalwan kwamfuta na gaba.
Don ƙarin basira da shawarar kwararru, ziyarci shafin yanar gizon mu ahttps://www.jiujonoptsics.com/don ƙarin koyo game da samfuranmu da mafita.
Lokaci: Jan-02-025
